【溶胶凝胶】溶胶凝胶制备高阻AZO和电阻率的测试

时间：2017-01-07 03:11:26 作者：翟耘萱；张翼；于

本文作者：翟耘萱；张翼；于航；成功正常投稿发表论文到《科技创新与应用》2015年19期,引用请注明来源400期刊网！
【摘要】：氧化锌混合氧化铝薄膜是由导体的氧化锌和绝缘体的氧化铝充分混合而成的复合材料。随着氧化锌和氧化铝的组成变化,氧化锌混合氧化铝薄膜的电阻率可以在10-2Ωcm到1016Ωcm变化。氧化锌混合氧化铝薄膜出现为微通道板打拿极导电层提供了一种新的材料选择。以二水合乙酸锌和六水合氯化铝为前驱物,用溶胶-凝胶的方法制备四个组分的氧化锌混合氧化铝薄膜样品。用原子力显微镜和伏安法测方块电阻的方式对薄膜的表面形貌和电阻率表征。最后对测试的电阻数据进行拟合,得到样品铝含量和样品电阻率的关系曲线。
【论文正文预览】：引言AZO薄膜是由ZnO和Al2O3共同沉积,充分扩散形成的复合薄膜。通过改变ZnO和Al2O3的比例,AZO薄膜介电常数、晶格常数、硬度、表面粗糙度、反射率、折射率、电荷存储容量和电阻率都可以明显的改变[1]。AZO薄膜被广泛的应用于液晶电视和太阳能电池等领域。国内关于低阻AZO薄
【文章分类号】：TB33;TB383.2
【稿件关键词】：溶胶-凝胶氧化锌混合氧化铝薄膜薄膜微通道板导电层
【参考文献】:

陆峰,徐成海,闻立时;ZAO薄膜的研究现状及发展趋势[J];真空与低温;2001年03期
葛春桥,薛亦渝,胡小锋,郭爱云;溶胶-凝胶法制备AZO薄膜工艺参数的优化[J];半导体技术;2005年05期
马成勇;程海峰;唐耿平;谢炜;;红外/雷达兼容隐身材料的研究进展[J];材料导报;2007年01期
武晓威;冯玉杰;刘延坤;韦韩;;制备工艺对锌铝氧化物(ZAO)粉末红外发射率的影响[J];材料科学与工艺;2010年02期
冯淑慧;;ZAO导电材料的制备及其应用研究进展[J];池州学院学报;2010年06期
楼晓波;沈鸿烈;张惠;李斌斌;;ZnO薄膜的结构与光学性能研究[J];电子元件与材料;2007年10期
职利;;高相对密度低电阻率ZTO陶瓷靶材的烧结与性能[J];电子元件与材料;2010年09期
彭丽萍;孟桂菊;徐凌;;Al掺杂ZnO光学性能的第一性原理研究[J];高等函授学报(自然科学版);2007年04期
汪华;师磊;;镀膜玻璃产品简述[J];建材世界;2009年06期
张丽丽;周炳卿;张林睿;李海泉;;热处理对溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜性能的影响[J];材料导报;2013年16期
毕松;苏勋家;侯根良;王德鹏;;涂覆型雷达/红外复合隐身材料研究现状[J];化工新型材料;2006年03期
李焕勇;庞世红;马静;任淑萍;;铝掺杂量对氧化锌(ZnO:Al)薄膜光电特性影响[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
肖华;王华;任鸣放;陈国华;;磁控溅射ZAO透明导电薄膜靶材及薄膜制备技术[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
吴春春;有机无机复合抗静电薄膜合成、结构表征及应用特性研究[D];浙江大学;2007年
许静;核—壳结构纳米复合材料的制备与表征[D];吉林大学;2007年
刘同军;溶胶—凝胶法制备的透明导电氧化物（TCO）薄膜[D];天津大学;2009年
杜玙璠;红外微波兼容材料的制备及性能研究[D];北京交通大学;2010年
严玉环;微波化学共沉淀法制备ZAO纳米粉体的研究[D];昆明理工大学;2008年
于平坤;ZnO：Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
张俊双;磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜及其性能研究[D];暨南大学;2011年
白雪;AZO靶材热压致密化过程研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
朱胜君;Al、H共掺杂ZnO透明导电薄膜的研究[D];武汉科技大学;2011年
许飞;射频反应磁控溅射制备ZAO薄膜及其光电性质研究[D];华东理工大学;2012年
冯博;纳米锑锡氧化物（ATO）粉体的水热法制备与表征[D];浙江大学;2004年
余俊;溅射法制备ZAO透明导电薄膜及其光电性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
李波欣;薄膜厚度测量方法的研究与实现[D];辽宁师范大学;2004年
葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
葛水兵,程珊华,宁兆元,沈明荣,甘肇强,周咏东,褚君浩;氧分压强和基片温度对脉冲激光沉积的ZnO∶Al膜性能的影响[J];功能材料;2000年S1期
裴志亮,谭明晖,陈猛,孙超,黄荣芳,闻立时;透明导电氧化物ZnO:Al(ZAO)薄膜的研究[J];金属学报;2000年01期
范志新,陈玖琳,孙以材;AZO透明导电薄膜的特性、制备与应用[J];真空;2000年05期

【稿件标题】：【溶胶凝胶】溶胶凝胶制备高阻AZO和电阻率的测试
【作者单位】：长春理工大学理学院;
【发表期刊期数】：《科技创新与应用》2015年19期
【期刊简介】：《科技创新与应用》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，科技创新与应用杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN23-1581/G3，国际刊号：ISSN2095-2945。科技创新与应用杂志社由黑龙江出版集团有限公司主管、主办，本刊为旬......更多科技创新与应用杂志社(http://www.400qikan.com/qk/9454/)投稿信息
【版权所有人】：翟耘萱；张翼；于航；