[石英音叉晶体谐振器论文]基于谐振原理的石英音叉数字温度传感器

时间：2016-11-27 20:55:57 作者：徐军；孙国东；余耀；

本文作者：徐军；孙国东；余耀；王禹；马静；成功正常投稿发表论文到《控制工程》2016年10期,引用请注明来源400期刊网！

如果您需要快速发表论文服务，请联系在线编辑！

【摘要】：采用石英晶体热敏新切型(ZY切型)和音叉结构,设计了一种工作于弯曲振动模式,输出为频率信号的数字温度传感器。针对温度传感器的要求,对石英晶体双旋切角的频率温度特性和机电耦合系数进行分析,确定热敏切型,使其具有较高的频率温度系数和机电耦合系数。对石英音叉结构和振动模式进行有限元仿真分析,优化传感器结构,并采用微机械加工技术制作音叉。实验结果表明,该传感器谐振频率对温度极其敏感并具有良好的频率温度线性关系,在0°C到100°C的测温范围内,频率温度系数为70×10~(-6)°C~(-1),分辨力为0.002°C,测温精度为±0.05°C,低功耗小于0.03μw。
【论文正文预览】：温度是一种非常重要的计量参数,尤其在高端科研、测控、生物医疗和材料特性研究领域,对温度的测量精度要求十分严格[1-4]。传统温度传感器主要有铂电阻、热敏电阻、热电偶和半导体温度传感器。铂电阻、热敏电阻和热电偶温度传感器需通过A/D转换器才能进入到微处理器,损失了测
【文章分类号】：TP212
【稿件关键词】：温度传感器谐振石英音叉石英微机械
【参考文献】:

张开逊;高灵敏温度传感器[J];中国科技月报;2001年06期
;美国国家半导体——2002年中国温度传感器设计大赛[J];电子产品世界;2002年13期
Ronnie D.Hughes;如何利用远程二极管温度传感器准确量度温度[J];电子产品世界;2002年17期
;美国国家半导体2002年温度传感器设计大赛第一轮比赛出线名单[J];电子产品世界;2002年17期
崔志富,赵亭荃,李建国;温度传感器在农业生产中的应用[J];现代化农业;2002年08期
;低成本小型温度传感器[J];传感器世界;2003年03期
;美国国家半导体2002年温度传感器应用设计大赛获奖者名单[J];电子产品世界;2003年Z1期
迎九;2002年温度传感器设计大赛颁奖记[J];电子产品世界;2003年Z2期
;美国国家半导体2002年温度传感器设计大赛圆满结束[J];世界电子元器件;2003年02期
Microchip;现代电子设备的温度传感器[J];电子与电脑;2004年11期
夏志斌;;某温度传感器试验设备校验[A];中国航空学会第七届动力年会论文摘要集[C];2010年
杨虹;支凌云;李言荣;;半导体硅温度传感器的研制[A];2005通信理论与技术新进展——第十届全国青年通信学术会议论文集[C];2005年
杨虹;王智鹏;杨鹏;李言荣;;硅温度传感器的研制[A];2007通信理论与技术新发展——第十二届全国青年通信学术会议论文集（下册）[C];2007年
张文革;韩伟;丁成斌;于铭飞;;一种低温液体温度传感器的研制[A];第八届全国低温工程大会暨中国航天低温专业信息网2007年度学术交流会论文集[C];2007年
窦葳;乔卫平;;温度传感器实验加热方式改进[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集（下册）[C];2010年
张在宣;王剑锋;刘红林;余向东;吴孝彪;InsooS.KIM;;30公里远程分布光纤拉曼温度传感器系统[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
杨秀英;;仿真技术在航空特型温度传感器检测技术中的应用研究[A];2008年航空试验测试技术峰会论文集[C];2008年
邱文章;;六西格玛在某型温度传感器性能调试中的运用[A];第十五届中国科协年会第13分会场：航空发动机设计、制造与应用技术研讨会论文集[C];2013年
徐军;李欣;夏伟;;基于石英音叉温度传感器的测温仪表的设计与实现[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
孙平魁;;工业测控系统中温度传感器的选择与使用[A];设备管理与维修实践和探索论文集[C];2005年
嘉兴出入境检验检疫局徐明东华大学陈若阳;常用温度传感器的使用分析[N];中国纺织报;2013年
山东谭景林傅鹏;温度传感器的工作机理[N];电子报;2007年
重庆杨清德;汽车温度传感器及检测[N];电子报;2006年
Silvio Lauckner;只需少量元件的USB温度传感器[N];电子资讯时报;2008年
昆明兰得春编译;带温度传感器的RFID[N];电子报;2013年
苏州叶云燕;正确选择温度传感器与热偶测量技术(上)[N];电子报;2010年
武汉王玉龙;一款自动温控电路的制作[N];电子报;2013年
甘肃杨华马建卢延军;温度传感器制作的报警型恒温控制器[N];电子报;2012年
四川学友;基于I~（2）C总线的智能温度传感器MAX6625/6626[N];电子报;2003年
胡春海;光纤荧光温度传感器理论和实验研究[D];燕山大学;2004年
徐军;石英音叉谐振式温度传感器及关键技术的研究[D];哈尔滨理工大学;2014年
邓俊;用于气象探测的低辐射误差温度传感器系统设计[D];南京信息工程大学;2015年
方刘禄;基于SAR ADC的CMOS温度传感器的设计[D];复旦大学;2014年
邱子晨;基于NFC技术的温度传感器的设计和开发[D];上海交通大学;2015年
陈彦如;一种大量程低误差的CMOS温度传感器[D];北京理工大学;2016年
刘俊丰;尾气温度传感器开发研究[D];吉林大学;2010年
徐军;一种新型石英音叉温度传感器的研究[D];哈尔滨理工大学;2005年
廖泽鑫;温度传感器的设计与研究[D];复旦大学;2012年
梁永勤;高精度低功耗CMOS温度传感器的设计[D];西安电子科技大学;2013年
张利;探空温度传感器的流体力学分析[D];南京信息工程大学;2013年
戴伟;探空温度传感器的数值分析与优化设计[D];南京信息工程大学;2012年

【稿件标题】：[石英音叉晶体谐振器论文]基于谐振原理的石英音叉数字温度传感器
【作者单位】：哈尔滨理工大学自动化学院;
【发表期刊期数】：《控制工程》2016年10期
【期刊简介】：《控制工程》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，控制工程杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN21-1476/TP，国际刊号：ISSN1671-7848。控制工程杂志社由中国教育部主管、东北大学主办，本刊为刊。自创刊以来，被公认誉......更多控制工程杂志社(http://www.400qikan.com/qk/5344/)投稿信息
【版权所有人】：徐军；孙国东；余耀；王禹；马静；