离子束加工范文|聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用

本文作者：王榕；杨文言；成功正常投稿发表论文到《分析仪器》2014年01期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：近年来,聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)因具有独一无二的优势,广泛应用于材料科学、微纳加工、半导体器件制造中。尤其是其精密加工和定位加工的特点,获得了众多研究者的青睐。本文介绍了聚焦离子束电镜双束系统在材料研究中的几种应用。
【论文正文预览】：随着纳米科技的不断进步,人们对材料微纳尺度的加工需求越来越大。聚焦离子束扫描电子显微镜(FIB)双束系统因具有高强度聚焦离子束对材料进行微纳米尺度精密加工、并结合扫描电子显微镜(SEM)进行实时观察的优点,充分发挥了聚焦离子束和电子束两者的长处而成为制造纳米器件、加
【文章分类号】：TH742
【稿件关键词】：聚焦离子束扫描电镜(FIB)双束系统应用
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【稿件标题】：离子束加工范文|聚焦离子束扫描电镜双束系统在材料研究中的应用
【作者单位】：清华大学摩擦学国家重点实验室;
【发表期刊期数】：《分析仪器》2014年01期
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