非晶合金薄膜铜衬底的低损伤超光滑制备

本文作者：徐洪；文东辉；欧长劲；成功正常投稿发表论文到《机械工程学报》2014年01期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：依据非晶合金薄膜生长对铜衬底的超光滑和低损伤要求,通过采用蓝宝石替代物实现进行式机械研磨。数值模拟结果表明能有效降低铜衬底的表面应力,试验测试表明替代物蓝宝石基片能有效地改善Rt值分布;通过设计开发动压浮离抛光基盘,利用液动压效应使得抛光时铜衬底与磨粒之间呈软性接触状态,改善了抛光的润滑状态。综合采用纳米压痕、NT9800白光干涉仪、透射电镜分析铜衬底表面及亚表层特性,测试分析结果表明,制备的铜衬底表面粗糙度Ra0.37nm、Rt4.94nm,亚表层材质致密均匀,亚表面晶格分布有序,晶格间的距离较一致,采用进行式机械研磨和动压浮离抛光方法对铜衬底实现了低损伤超光滑制备。
【论文正文预览】：0前言*非晶合金由于不存在晶界、位错等缺陷,具有优于传统晶态合金材料的独特性能如高强度、硬度和耐磨性、优异的耐腐蚀性和催化性能。非晶合金薄膜是非晶合金家族相对古老的成员,已广泛应用于电子、机械零件、石油化工、航空航天及家庭用品和装饰品等,具有重要的应用价值,但
【文章分类号】：TG580.6
【稿件关键词】：非晶合金薄膜铜衬底低损伤超光滑
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【稿件标题】：非晶合金薄膜铜衬底的低损伤超光滑制备
【作者单位】：浙江师范大学工学院;浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室;
【发表期刊期数】：《机械工程学报》2014年01期
【期刊简介】：《机械工程学报》创刊于1953年，是由中国机械工程学会主办、机械工业信息研究院 《机械工程学报》封面 承办的机械工程类高学术水平期刊。 本刊是中国机械工程领域的顶级学术刊物，主要报道机械工程领域及其交叉学科、新兴学科、边缘学科等领域具有创新性及重......更多机械工程学报杂志社(http://www.400qikan.com/qk/1252/)投稿信息
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