非晶合金薄膜铜衬底的低损伤超光滑制备

本文作者：徐洪；文东辉；欧长劲；成功正常投稿发表论文到《机械工程学报》2014年01期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：依据非晶合金薄膜生长对铜衬底的超光滑和低损伤要求,通过采用蓝宝石替代物实现进行式机械研磨。数值模拟结果表明能有效降低铜衬底的表面应力,试验测试表明替代物蓝宝石基片能有效地改善Rt值分布;通过设计开发动压浮离抛光基盘,利用液动压效应使得抛光时铜衬底与磨粒之间呈软性接触状态,改善了抛光的润滑状态。综合采用纳米压痕、NT9800白光干涉仪、透射电镜分析铜衬底表面及亚表层特性,测试分析结果表明,制备的铜衬底表面粗糙度Ra0.37nm、Rt4.94nm,亚表层材质致密均匀,亚表面晶格分布有序,晶格间的距离较一致,采用进行式机械研磨和动压浮离抛光方法对铜衬底实现了低损伤超光滑制备。
【论文正文预览】：0前言*非晶合金由于不存在晶界、位错等缺陷,具有优于传统晶态合金材料的独特性能如高强度、硬度和耐磨性、优异的耐腐蚀性和催化性能。非晶合金薄膜是非晶合金家族相对古老的成员,已广泛应用于电子、机械零件、石油化工、航空航天及家庭用品和装饰品等,具有重要的应用价值,但
【文章分类号】：TG580.6
【稿件关键词】：非晶合金薄膜铜衬底低损伤超光滑
【参考文献】:

• 霍德鸿,梁迎春,程凯,董申;基于原子力显微镜和分子动力学的纳米压痕技术研究[J];机械工程学报;2004年06期
• 拓雷锋;闫志杰;严峻;党淑娥;胡勇;;Zr_(55)Al_(10)Cu_(30)Ni_5非晶合金压痕塑性变形有限元模拟[J];机械工程学报;2010年20期
• 徐勇;非晶合金薄膜的制备、生长机理和力学性能[D];浙江大学;2010年
• 郑雪;李敬明;蓝林刚;李伟;;纳米压痕法研究NEPE推进剂的细观力学性能[J];四川兵工学报;2009年10期
• 黄跃飞;张俊杰;周军晖;;单晶铜薄膜纳米压痕过程的分子动力学模拟[J];机械工程材料;2008年04期
• 黄跃飞;李洪平;;基于AFM的单晶铜薄膜压痕的分子动力学研究[J];光学精密工程;2008年11期
• 崔玉国;何高法;荒井義和;高伟;;快速大面积测量用原子力显微镜扫描速度对测量结果的影响[J];光学精密工程;2011年11期
• 周亮;姚英学;;微纳米尺度压痕硬度尺寸效应的研究进展[J];哈尔滨工业大学学报;2008年04期
• 李明;蓝林刚;庞海燕;温茂萍;敬仕明;;基于纳米压痕方式测定PBX的弹性模量[J];含能材料;2007年02期
• 赵星;李久会;王绍青;张彩碚;;纳米压痕实验中单晶Cu初始塑性变形的准连续介质模拟[J];金属学报;2008年12期
• 汤忠斌;徐绯;李玉龙;;MEMS材料力学性能的测试方法[J];机械强度;2007年03期
• 唐玉兰;胡适;王东旭;赵健伟;梁迎春;董申;;纳米工程中大规模分子动力学仿真算法的研究进展[J];机械工程学报;2008年02期
• 徐磊;赵国群;张存生;陈浩;李恒奎;;多腔壁板铝型材挤压过程数值模拟及模具优化[J];机械工程学报;2011年22期
• 韩宪越;新型CaB_4晶体的生长与物理性质研究[D];燕山大学;2011年
• 赵星;纳米粒子并合、沉积和纳米压痕的计算模拟研究[D];东北大学;2009年
• 樊康旗;MEMS黏着接触特性研究[D];西安电子科技大学;2007年
• 周磊;微纳米动态切削系统建模及表面形貌的预测分析研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
• 姜燕;复杂环境下基底与扫描探针间相互作用的研究[D];南京航空航天大学;2009年
• 窦建华;原子力显微镜针尖－表面相互作用分子动力学仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
• 邵航;金属纳米玻璃的高能球磨法制备及结构表征[D];兰州大学;2013年
• 高宇;单晶Cu纳米压痕的分子动力学模拟[D];北京交通大学;2011年
• 马建生;压痕诱导Zr_(65)Al_(7.5)Cu_(12.5)Ni_(10)Ag_5非晶合金晶化动力学的研究[D];太原科技大学;2011年
• 刘萌;延伸角锥刀刻划衍射光栅槽形控制研究[D];长春理工大学;2011年
• 马琴芳;采用有限元方法研究Ti-Si-N超硬纳米复合表面的力学性能[D];内蒙古科技大学;2010年
• 张志杰;分子动力学方法计算气体的物理性质[D];燕山大学;2010年
• 郭风晨;纳米尺度双金属轧制的分子动力学模拟[D];燕山大学;2011年
• 潘丽;磁控溅射制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究[D];大连理工大学;2011年
• 刘倩倩;微纳米尺度表面残余应力的分子动力学研究[D];沈阳航空航天大学;2011年
• 朱吉牧;基于原子力显微镜的纳米加工技术及软件系统研究[D];浙江大学;2005年
• 张秀艳;基于分子动力学模拟的纳米压痕技术研究[D];西安电子科技大学;2006年
• 张志豪,刘新华,谢建新;Zr基非晶合金精密直齿轮超塑性成形试验研究[J];机械工程学报;2005年03期
• 李军;朱镛;陈创天;;无损伤超光滑LBO晶体表面抛光方法研究[J];光学技术;2006年06期
• 伍世荣;影响金刚石刀具超精加工精度的主要因素[J];工具技术;1985年05期
• 康念辉;李圣怡;郑子文;戴一帆;;典型碳化硅光学材料的超光滑抛光试验研究[J];中国机械工程;2008年21期
• 雷洁红;邢丕峰;唐永建;吴卫东;;钼薄膜制备技术研究[J];云南大学学报(自然科学版);2009年S1期
• 沈锋;;各项异性对单晶蓝宝石精密研磨的作用规律[J];科技信息;2010年24期
• 王新海;郭忠达;王芳杰;阳志强;杨震;;不同基底材料的磁流变抛光研究[J];科技信息;2009年35期
• 宗文俊,孙涛,李旦,程凯,董申;单晶金刚石晶体的机械研磨[J];哈尔滨工业大学学报;2005年08期
• 李宝贵;李成贵;;超光滑表面检测方法[J];上海计量测试;2005年06期
• 田世忠;黄维华;;陶瓷阀门密封面的研磨[J];阀门;2011年04期
• 岩田弘之,郑正平;铸铁的铰削加工[J];工具技术;1964年12期
• 伍艺龙;田园;刘卫国;杭凌侠;;等离子体超光滑表面加工过程中的发射光谱研究[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
• 张文峰;赵家齐;;多因素对电解研磨复合镜面加工表面粗糙度的影响[A];第八届全国电加工学术年会论文集[C];1997年
• 徐波;吕悦;;不同抛光方法对纯钛铸件表面粗糙度的影响[A];全国第六届口腔修复工艺学学术会议论文汇编[C];2007年
• 焦敬品;曾宪超;杨敬;何存富;吴斌;;不同压力弹塑性接触界面非线性超声检测研究[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
• 张安洲;任中根;迟恩田;;高温合金电解放电复合加工表面质量初步研究[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
• 潘永强;杭凌侠;罗廷;;电子束蒸发二氧化锆薄膜表面粗糙度的研究[A];2007年全国第十六届十三省（市）光学学术会议论文集[C];2007年
• 张洪山;张晓平;;柴油机气门座修复工艺的研究[A];第十二次全国农机维修学术会议论文集[C];2005年
• 李朝阳;韩尔立;陈强;罗世永;;离子源辅助磁控溅射Cu基镀Cr层机械性能研究[A];第五届全国稀有金属学术会议专辑[C];2006年
• 程子清;王彬;熊长新;李钱陶;;金刚石车削对硒化锌晶体表面粗糙度的影响[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
• 杨志翔;王金明;敖明;艾传智;杨东军;赵福令;;切削刀具对C/C复合材料切削表面粗糙度影响的研究[A];复合材料——基础、创新、高效：第十四届全国复合材料学术会议论文集（下）[C];2006年
• 山西焦煤集团公司西曲矿 白栓柱;表面粗糙度形成原因及降低措施[N];山西科技报;2004年
• 刘友存 译;奥钢联冷轧厂带钢表面粗糙度的在线测量[N];中国冶金报;2006年
• 李烁;超精密加工技术及其在先进光学中的应用[N];科技日报;2007年
• 晓斌;纯钛超精密镜面加工技术问世[N];中国有色金属报;2005年
• 郑州纺机特种工艺有限公司 李卫权;表面处理技术国产纺机并不落后[N];中国纺织报;2008年
• 全国轧钢技术知识竞赛组委会专家组;重视轧辊毛化技术 提高带钢表面质量[N];中国冶金报;2006年
• 刘伊婷;内燃机气门实物质量合格率为87.5%[N];中国质量报;2007年
• 崔玉平;曲轴国家抽检合格率达九成以上[N];中国工业报;2008年
• 廖建国;汽车大梁用热轧高强度钢板疲劳强度的改善[N];世界金属导报;2008年
• 中国纺织机械器材工业协会;精益求精的制造技术是产品创新的基础[N];中国纺织报;2007年
• 徐晓梅;反射式强度调制型光纤传感孔内表面粗糙度检测技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
• 李娜;表面粗糙度对高精度微波电子装备电性能影响的研究[D];西安电子科技大学;2012年
• 张富;弹性约束游离磨料超光滑表面加工技术的研究[D];吉林大学;2007年
• 李军;硬脆材料超精密加工关键技术研究[D];中国科学院研究生院（理化技术研究所）;2007年
• 潘明强;微弧氧化膜层形成及其表面粗糙度的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
• 杨玉芬;基于模糊数学的机械零件表面结构几何特征研究[D];太原理工大学;2011年
• 郭瑞鹏;基于激光散射的在线检测表面特性参数的理论分析和实验研究[D];上海交通大学;2011年
• 张洪丽;超声振动辅助磨削技术及机理研究[D];山东大学;2007年
• 王永刚;Wolter-I型反射镜的加工及表面粗糙度检测[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
• 廖华勇;固液界面流变的若干基本问题研究[D];浙江大学;2007年
• 王立新;电厂循环水泵的经济运行与节能研究[D];华北电力大学（河北）;2007年
• 方慧;液体喷射抛光技术[D];苏州大学;2004年
• 高凡;SOI基集成光波导器件及表面粗糙度改善的研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2005年
• 李欣;氟化物控释装置对钛合金表面粗糙度影响的初步研究[D];武汉大学;2005年
• 孙淼;Si基SiO_2阵列波导光栅理论分析及工艺制备[D];浙江大学;2006年
• 王娜;不同热处理方式及技工操作对树脂基托表面白色念珠菌黏附的影响[D];河北医科大学;2006年
• 陈豪杰;体育馆用木质地板表面性能的研究[D];北京林业大学;2007年
• 程操宇;高速铣削的工艺技术研究[D];吉林大学;2007年
• 张锡芳;光学干涉法测量表面粗糙度的研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
• 柳东;新型磨料流加工设备的仿真设计与实验研究[D];天津工业大学;2008年

【稿件标题】：非晶合金薄膜铜衬底的低损伤超光滑制备
【作者单位】：浙江师范大学工学院;浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室;
【发表期刊期数】：《机械工程学报》2014年01期
【期刊简介】：《机械工程学报》创刊于1953年，是由中国机械工程学会主办、机械工业信息研究院 《机械工程学报》封面 承办的机械工程类高学术水平期刊。 本刊是中国机械工程领域的顶级学术刊物，主要报道机械工程领域及其交叉学科、新兴学科、边缘学科等领域具有创新性及重......更多机械工程学报杂志社(http://www.400qikan.com/qk/1252/)投稿信息
【版权所有人】：徐洪；文东辉；欧长劲；

更多机电类论文详细信息: 非晶合金薄膜铜衬底的低损伤超光滑制备 论文代写
http://m.400qikan.com/lw-16003 论文代发

相关专题：法律杂志 吉林农业大学学报