反射环对区熔炉温度场的影响

本文作者：傅林坚；曹建伟；沈文杰；朱亮；张俊；石刚；欧阳鹏根；叶欣；邱敏秀；成功正常投稿发表论文到《机电工程》2014年01期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：针对悬浮区熔法生长较大直径的单晶硅时,单晶硅外部的轴向温度梯度比内部温度梯度大很多,从而导致硅单晶径向电阻率不均匀及生长裂纹的问题。通过有限元法对生长区熔硅单晶的温度场进行了数值模拟,建立了有反射环和无反射环的两种模型,得到了两种模型下的单晶温度分布图,并对比分析了两种模型下的单晶外表面温度分布及纵向温度梯度分布。研究结果表明,反射环可改善温度场分布,降低单晶硅外表面轴向温度梯度,使晶体径向温度趋于一致,提高硅单晶径向电阻率均匀性,并有效解决了生长过程中单晶硅易出现裂纹的问题。
【论文正文预览】：0引言区别于传统的直拉法(CZ)生长硅晶,区熔硅单晶采用区熔法(也叫针眼法)原理生长硅晶,即:利用高频感应加热原理,直接对高纯多晶棒料局部加热并熔化,下轴的籽晶通过线圈中心孔与多晶棒熔接并生长出单晶。在整个拉晶过程中硅晶不与外界接触,因而容易获得高纯度、高完整性、低
【文章分类号】：TN304.12
【稿件关键词】：悬浮区熔法反射环数值模拟温度场
【参考文献】:

• 王梦文;;磁力联轴器隔离套涡流场与温度场的数值计算[J];机电工程;2010年08期
• 储乐平,马骏,刘玉君,纪卓尚;钢板感应加热机理及电磁—热耦合场的数值模拟[J];中国造船;2005年01期
• 尹延国;王永国;俞建卫;周耀新;解挺;;温压模具感应加热的基础研究[J];粉末冶金工业;2007年05期
• 梅瑞斌;李长生;韩斌;刘相华;;热轧板坯高温感应加热有限元分析[J];钢铁;2008年02期
• 郭亮;李元元;李小强;杨俊逸;杨超;刘允中;陈维平;;轴向交变磁场对电场活化烧结工艺温度场影响的数值模拟[J];机械工程材料;2007年01期
• 张雪彪;杨玉龙;刘玉君;;钢板高频感应加热过程电磁-热耦合场分析[J];大连理工大学学报;2012年05期
• 吴强;张雪彪;刘玉君;邓燕萍;纪卓尚;;基于水火弯板工艺的钢板感应加热方式对比性研究[J];江苏科技大学学报(自然科学版);2010年01期
• 张雪彪;刘玉君;胡雪锋;纪卓尚;;钢板感应加热成形的实验分析和数值模拟[J];哈尔滨工程大学学报;2009年03期
• 赵前哲;柳亦兵;刘衍平;周伟松;;铁磁性材料感应加热过程的数值分析[J];材料热处理学报;2012年03期
• 周跃庆;张媛媛;程亦晗;;感应淬火电磁-热耦合场的有限元分析[J];金属热处理;2007年02期
• 柏劲松;;高频感应加热弯板成型感应器的设计[J];科技风;2013年01期
• 谢贝贝;王允建;王国东;余发山;;瓦楞辊的分区分段电磁感应加热仿真研究[J];河南理工大学学报(自然科学版);2013年04期
• 吴强;张雪彪;刘玉君;;基于水火弯板工艺的钢板感应加热方式对比性研究[A];第四届全国船舶与海洋工程学术会议论文集[C];2009年
• 王德广;金属粉末高致密化成形及其数值模拟研究[D];合肥工业大学;2010年
• 黄永俊;激光—感应复合熔覆工艺及机理研究[D];华中科技大学;2009年
• 王媛;等速驱动轴中间轴的感应淬火数值模拟分析[D];武汉理工大学;2011年
• 杨玉龙;钢板高频感应加热过程中温度场的数值研究[D];大连理工大学;2011年
• 李明威;铁基粉末冶金材料感应烧结过程研究[D];南京理工大学;2012年
• 柏劲松;感应加热钢板变形规律的研究[D];大连理工大学;2006年
• 潘作为;基于ANSYS的感应加热数值模拟及感应器设计[D];大连理工大学;2006年
• 王磊旭;管道的瞬时液相扩散焊（TLP）焊机研究[D];中国石油大学;2007年
• 曲璐;宽带国家功率基准热特性研究[D];北京交通大学;2008年
• 马飞;轴承感应拆装器的有限元仿真及实验研究[D];吉林大学;2008年
• 王永国;感应加热温压系统的研究[D];合肥工业大学;2008年
• 张媛媛;基于有限元和边界元方法的轴类感应加热分析及数值模拟[D];天津大学;2007年
• 刘志珍,励庆孚,王美琴;解析法计算任意形状薄钢板的涡流损耗[J];电工技术学报;1999年04期
• 张洪亮;邹继斌;;考虑旋转磁通的PMSM铁心损耗数值计算[J];电机与控制学报;2007年04期
• 刘芳,任振林;磁力驱动离心泵隔离套的设计[J];甘肃科学学报;2005年02期
• 杨超君,马宏亮,蒋生发;电磁感应式磁力联轴器中隔离套的涡流分析与计算[J];机械设计与研究;2005年05期
• 陈存武,杨超君;磁力泵隔离套中的有限元分析及优化设计[J];排灌机械;2003年01期
• 施卫东;磁力驱动泵的功率损失分析[J];水泵技术;1999年02期
• 付敏;邹继斌;魏静薇;丁树业;;基于三维有限元法U型单相自起动永磁同步电机涡流场与温度场的分析计算[J];上海交通大学学报;2006年04期
• 梁艳萍,陆永平,朱宽宁,戈宝军;汽轮发电机失磁异步运行时转子端部漏磁参数与涡流损耗的分析计算[J];中国电机工程学报;2004年11期
• 周封;熊斌;李伟力;程树康;;大型电机定子三维流体场计算及其对温度场分布的影响[J];中国电机工程学报;2005年24期
• 邹继斌;张洪亮;江善林;陈霞;;电磁稳态条件下的力矩电机三维暂态温度场分析[J];中国电机工程学报;2007年21期
• 喜娜;白敏丽;徐哲;杨洪武;李河;孙志君;;集成热管散热器的试验研究与数值模拟[J];工程热物理学报;2006年05期
• 李广彬;曹义华;陈科;;直升机空中运动的数值模拟[J];航空计算技术;2007年01期
• 肖琴;鄢扬;;Ka波段过模表面波振荡器数值模拟[J];信息与电子工程;2007年01期
• 管群;卢晃安;;面向对象流团模型的应用研究[J];计算机技术与发展;2007年12期
• 王阿霞;马逸尘;;复杂起伏地表的POD数值模拟[J];地球科学与环境学报;2008年02期
• 秦斌;熊永前;谭萍;裴元吉;樊明武;;用于THz源的混合型波荡器数值模拟[J];中国物理C;2008年S1期
• 杨高尚;彭立敏;彭建国;张进华;安永林;;隧道火灾安全疏散模拟[J];自然灾害学报;2008年03期
• 张晓星;关仲;胡红军;;AZ31镁合金直接激冷铸造铸锭的热应力数值模拟(英文)[J];系统仿真学报;2008年19期
• 栗丽;;激光熔覆时粉末流温度场的仿真模拟[J];仪器仪表用户;2009年04期
• 贺成明,孙鉴;彩色显象管中非轴对称场空间电荷数值计算[J];西安交通大学学报;1991年05期
• 林祥;尹宝树;杨德周;;波浪在波流相互作用中对底应力及流速的影响研究[A];第十四届中国海洋（岸）工程学术讨论会论文集（上册）[C];2009年
• 陈可锋;季小强;李鑫;;海平面上升对江苏沿海潮波影响研究[A];第十四届中国海洋（岸）工程学术讨论会论文集（上册）[C];2009年
• 杨欣;程文;川端信义;;公路隧道火灾热气流运动规律的研究[A];中国环境科学学会2009年学术年会论文集（第四卷）[C];2009年
• 裴文兵;;激光驱动惯性约束聚变数值模拟研究进展及其相关的原子物理过程[A];第十五届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2009年
• 张东明;;不可压混合层中一种增强混合的新方法[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）[C];2007年
• 金晓林;;电子回旋共振放电的数值模拟[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
• 张晓晴;黄小清;汤立群;;泡沫铝填充圆管三点弯曲性能研究[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集（下）[C];2007年
• 陈勇梅;黄西成;;流体动力学帽状剪切实验数值模拟[A];第七届全国MTS材料试验学术会议论文集（二）[C];2007年
• 吴迪;张建红;王静;雷明凯;宫野;;强流脉冲离子束辐照混合双层靶的数值研究[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
• 张俊兵;傅洪贤;李克民;;高台阶抛掷爆破爆堆形态的模拟[A];中国爆破新技术Ⅱ[C];2008年
• 通讯员 朱江　冯明农;风能项目组研讨数值模拟产品共享[N];中国气象报;2010年
• 本报记者　赵亚辉;探寻“大气”的奥秘[N];人民日报;2005年
• 张晓健;二重大型铸锻件数值模拟国家工程实验室获批[N];中国冶金报;2007年
• 向杰 实习生：孙馨;在计算机上模拟大气和海洋运动[N];科技日报;2005年
• 本报记者 吴楠　通讯员 许家帅;数值模拟预测工程效果指导工程建设[N];中国交通报;2008年
• 上海交通大学 潘健生;材料热处理过程的数值模拟[N];科技日报;2002年
• 杨雄飞;炼钢与环境技术的研究方法[N];世界金属导报;2007年
• 付冰?赵辉;油藏数值模拟技术成为“常规武器”[N];中国石油报;2007年
• ;堤基管涌机理和防治关键问题研究为堤防提供科学参考[N];中国水利报;2008年
• 本报记者杨靖;使命的召唤[N];科技日报;2002年
• 孙喜新;济阳坳陷馆陶组构造特征及成藏模式研究[D];中国科学院研究生院（广州地球化学研究所）;2005年
• 严春吉;液体射流分裂雾化机理及内燃机缸内工作过程的模拟[D];大连海事大学;2005年
• 何志伟;复合期权与路径相关期权定价理论模型、数值模拟及应用研究[D];华中科技大学;2005年
• 郭永红;超细粉再燃低NO_x燃烧技术的数值模拟与实验研究[D];华北电力大学（北京）;2006年
• 胡国权;淮河试验时期的能量与水份循环研究[D];中国气象科学研究院;2001年
• 吴一红;管阵流体弹性不稳定性研究及流体诱发振动数值模拟[D];清华大学;1991年
• 陈黎明;电弧加热发动机的设计与研究[D];清华大学;2002年
• 肖金花;波纹管传热强化及其轴向承载能力研究[D];北京化工大学;2006年
• 周素云;激光等离子体中有着自生磁场的密度通道的分析研究[D];南昌大学;2007年
• 武文斌;金属板件等离子体弧柔性成形技术的基础研究[D];大连理工大学;2008年
• 张渤涛;复杂形状汽车覆盖件成形过程数值仿真模式的研究[D];山东大学;2005年
• 孙明新;起重机臂架受力状态模拟[D];山东大学;2005年
• 邱田金;日照港岚山港区30万吨原油码头工程潮流数值模拟及泥沙淤积分析[D];中国海洋大学;2005年
• 张皓光;轴向间隙引气对多级轴流压气机性能及流场影响的数值模拟[D];西北工业大学;2006年
• 李建平;超燃冲压发动机尾喷管设计及性能研究[D];西北工业大学;2006年
• 刘冰;高强混凝土试验及破坏过程模拟[D];河海大学;2006年
• 张敬芝;铝合金铁型覆砂铸造技术研究及其数值模拟[D];昆明理工大学;2006年
• 李晓娟;土体隧道围岩稳定性分析与研究[D];吉林大学;2006年
• 黄国联;竹节形扰流柱对换热效果的影响[D];南京航空航天大学;2007年
• 凌芳;开口圆形液池内热毛细对流及其失稳机理分析[D];重庆大学;2007年

【稿件标题】：反射环对区熔炉温度场的影响
【作者单位】：浙江晶盛机电股份有限公司;
【发表期刊期数】：《机电工程》2014年01期
【期刊简介】：《机电工程》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，机电工程杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN33-1088/TM，国际刊号：ISSN1001-4551。机电工程杂志社由浙江省机电集团有限公司主管、主办，本刊为月刊。自创刊以来，被......更多机电工程信息
【版权所有人】：傅林坚；曹建伟；沈文杰；朱亮；张俊；石刚；欧阳鹏根；叶欣；邱敏秀；

更多机电类论文详细信息: 反射环对区熔炉温度场的影响 论文代写
http://m.400qikan.com/lw-13947 论文代发

相关专题：电子图书馆 开封大学学报